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簡要描述：用于AR波導(dǎo)切割的高效率激光加工系統(tǒng)3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系統(tǒng)專為加工高折射率玻璃及其他透明晶體材料而設(shè)計(jì)。其的玻璃切割能力使其成為基于晶圓的增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）波導(dǎo)分離與單片化處理的理想選擇。該系統(tǒng)高度靈活，并支持現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，既適用于研發(fā)用途，也能實(shí)現(xiàn)高良率的大規(guī)模量產(chǎn)。
產(chǎn)品型號(hào)：microPOLAR廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時(shí)間：2026-01-09訪 問 量： 236產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系統(tǒng)專為加工高折射率玻璃及其他透明晶體材料而設(shè)計(jì)。其的玻璃切割能力使其成為基于晶圓的增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）波導(dǎo)分離與單片化處理的理想選擇。該系統(tǒng)高度靈活，并支持現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，既適用于研發(fā)用途，也能實(shí)現(xiàn)高良率的大規(guī)模量產(chǎn)。
亮點(diǎn)
•現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)能力
•單位成本低
•批次尺寸與形狀選擇靈活
•避免邊緣損傷和崩邊
•玻璃單片化后具有高抗彎強(qiáng)度
•占地面積小
microPOLAR™ - 系統(tǒng)概述
microPOLAR 激光系統(tǒng)基于專為高通量大規(guī)模生產(chǎn)而設(shè)計(jì)的設(shè)備平臺(tái)。其模塊化設(shè)計(jì)支持現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，因此是增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）等新興技術(shù)的理想選擇。
microPOLAR的激光切割工藝專為切割用于增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）設(shè)備的高折射率晶圓而開發(fā)。因此，我們?cè)诠に囇邪l(fā)中特別注重實(shí)現(xiàn)抗彎強(qiáng)度。該工藝可有效避免加工過程中的邊緣損傷、崩邊以及顆粒產(chǎn)生。低零件公差只是這一高度專業(yè)化激光切割工藝的眾多優(yōu)勢(shì)之一。
多種上下料和檢測(cè)選配方案的可用性，使該系統(tǒng)能夠作為高效能的生產(chǎn)平臺(tái)使用。它可輕松集成到生產(chǎn)線中，并提供機(jī)器人或人工上下料等多種操作選項(xiàng)。
| microPOLAR M | microPOLAR A | microPOLAR A2 | |
| 典型應(yīng)用 | 用于AR設(shè)備的波導(dǎo) | ||
| 生產(chǎn)效率水平 | •研究與開發(fā)* •試生產(chǎn)* | 量產(chǎn)* | •量產(chǎn)* •大規(guī)模生產(chǎn)* |
| 材料 | •SCHOTT RealView® (1.7; 1.8; 1.9; 1.9 輕量化) •HOYA •CORNING (1.7-2.0 RI) •其他透明晶體材料 (例如 LiNbO3) | ||
| 基板尺寸 | •裸晶圓: 12“ •貼膜晶圓: 8“ | ||
| 激光加工模塊 | •改性 •分離 | •改性 •分離 | •2X改性 •2X分離 |
| 附加模塊 | •手動(dòng)上下料 •質(zhì)量檢測(cè) | •通過 EFEM 輸入 •質(zhì)量檢測(cè) •自動(dòng)卸載至料盤 •通過 EFEM 輸出 | |
| 計(jì)量 | •自動(dòng)對(duì)準(zhǔn) | ||
| microMMI 軟件 | •控制并監(jiān)控所有硬件組件及加工參數(shù) •多級(jí)用戶權(quán)限（管理員、主管、操作員） •數(shù)據(jù)輸入文件格式：DXF、CSV、Gerber、CLI，其他格式可按需提供 | ||
| 安全 | •符合激光1類安全標(biāo)準(zhǔn)的防護(hù)外殼，集成控制面板 •全景攝像頭（網(wǎng)絡(luò)攝像頭） | ||
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