高精度主動(dòng)減振平臺(tái)(主動(dòng)減震臺(tái))產(chǎn)品介紹：

在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測(cè)量環(huán)境的抑制因素。

在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無(wú)法隔離低頻振動(dòng)，此時(shí)需要主動(dòng)隔離。

先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測(cè)量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備：

掃描電子顯微鏡，如 AFM 3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測(cè)量系統(tǒng)，顯微硬度測(cè)量?jī)x，醫(yī)療檢測(cè)設(shè)備等。

高精度主動(dòng)減振平臺(tái)(主動(dòng)減震臺(tái))特點(diǎn)：

1、在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。

2、當(dāng)儀器裝載時(shí)，高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行。

3、即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時(shí)，自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí)，給予穩(wěn)定性。

4、通過(guò)按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

5、前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平。

6、主動(dòng)隔振也可以通過(guò)使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來(lái)從外部啟用或禁用。(單獨(dú)出售) 有關(guān)詳情，請(qǐng)與我們聯(lián)系。

TS應(yīng)用案例

Herz系列產(chǎn)品創(chuàng)建穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境

支持改善TS的隔振性能

主動(dòng)式隔振系統(tǒng)控制水平和垂直方向20μm的振動(dòng)振幅。如果工作臺(tái)或桌面不夠堅(jiān)硬，TS系列產(chǎn)品的隔振性能將會(huì)降低，或者振動(dòng)會(huì)放大。我們提供具有內(nèi)置阻尼功能的剛性框架，以實(shí)現(xiàn)TS系列產(chǎn)品的理想性能。

帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板

此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據(jù)要求提供。

TS-150屬于Herz主動(dòng)式隔振系統(tǒng)，專(zhuān)為掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、激光干涉儀、表面輪廓儀及納米壓印設(shè)備等高精密儀器設(shè)計(jì)，可有效隔離0.7 Hz起的低頻振動(dòng)干擾，彌補(bǔ)傳統(tǒng)被動(dòng)氣浮隔振臺(tái)在低頻段隔振能力不足的問(wèn)題。該系列提供不同負(fù)載能力的型號(hào)，TS-150適用于中型設(shè)備，如需承載更重或更高重心的儀器，可咨詢更大負(fù)載型號(hào)。

在實(shí)際部署時(shí)，隔振效果與支撐平臺(tái)的剛性密切相關(guān)——若工作臺(tái)剛度不足，可能影響主動(dòng)隔振性能，建議搭配廠家推薦的阻尼剛性框架或蜂窩光學(xué)平臺(tái)使用。此外，用戶可根據(jù)儀器底部接口定制安裝板的螺紋孔位置，便于直接固定設(shè)備；對(duì)于需要遠(yuǎn)程控制或集成到自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)的場(chǎng)景，可選配外部遠(yuǎn)程控制箱實(shí)現(xiàn)隔振功能的啟閉。

如需評(píng)估實(shí)際隔振效果或獲取與您現(xiàn)有儀器匹配的安裝方案，可聯(lián)系我們索取詳細(xì)技術(shù)規(guī)格書(shū)、預(yù)約現(xiàn)場(chǎng)演示或進(jìn)行樣品實(shí)測(cè)。