納米壓印光刻系統(tǒng)制造商SwissLitho AG今天宣布一種聯(lián)合解決方案，可以生產最小到單納米級的3D結構。該方案最初在由歐盟第七框架計劃資助的“超越CMOS器件的單納米制造（SNM）”項目中得到證明，該方案涉及SwissLitho的新型NanoFrazor熱掃描探針光刻系統(tǒng)，以生產具有3D結構的主模板用于納米壓印光刻系統(tǒng)和EVG。
目標應用：
EVG和SwissLitho最初將以聯(lián)合解決方案為目標，以開發(fā)衍射光學元件和其他相關光學組件，以支持光子學，數據通信，增強/虛擬現實和其他應用，并有可能擴展到生物技術，納米流體技術和其他納米技術應用。
作為聯(lián)合解決方案的一部分，SwissLitho的NanoFrazor系統(tǒng)將用于創(chuàng)建壓印母版。與傳統(tǒng)方法相比，該新技術具有較好的精度打印3D結構的*能力。然后，將使用EVG的HERCULES NIL系統(tǒng)，通過該公司專有的大面積納米壓印SmartNIL納米壓印技術，以高成本效益，高成本效益地創(chuàng)建工作模板。
EV Group公司技術總監(jiān)Thomas Glinsner博士指出：“ SwissLitho的NanoFrazor解決方案與EVG的SmartNIL納米壓印技術高度互補。我們可以共同為光子學和其他涉及3D結構圖案的應用提供完整的NIL納米壓印解決方案，為兩家公司提供了巨大的機會為了擴大我們的客戶群和市場范圍，我們的NILPhotonics能力中心將成為對此聯(lián)合解決方案感興趣的客戶的第一聯(lián)系點，我們將在此提供可行性研究，演示和中試生產。
技術的仔細研究NanoFrazor背后的技術是熱掃描探針光刻技術，該技術是在蘇黎世的IBM Research發(fā)明的，并被SwissLitho AG收購。這種無掩膜的直接寫入光刻方法涉及在圖案化之前將*的熱敏抗蝕劑旋涂到樣品表面上。然后使用加熱的超銳利頭端來分解和蒸發(fā)抗蝕劑，同時檢查書寫的納米結構。然后可以使用剝離，蝕刻，電鍍，模制或其他方法將所得的任意抗蝕劑圖案轉移到幾乎任何其他材料中。
SwissLitho執(zhí)行官Felix Holzner博士說：“我們開發(fā)了NanoFrazor產品線，以提供一種高性能，價格合理的替代產品，并擴展了昂貴的電子束光刻系統(tǒng)。”“該技術允許一步制造具有多個'級別'的母版。特別是，與傳統(tǒng)的電子束或灰度光刻方法相比，具有納米精度的3D結構可以更容易地制造，并且保真度更高。我們期待著與客戶合作，將我們的技術與EVG在奧地利NILPhotonics納米壓印技術中心的成功SmartNIL納米壓印工藝相結合。”
HERCULES NIL納米壓印設備將EVG在NIL納米壓印，抗蝕劑處理和大批量制造解決方案方面的廣泛專業(yè)知識結合到單個集成系統(tǒng)中，該系統(tǒng)可為200毫米晶圓提供高達40 wph的吞吐量。該系統(tǒng)的可配置模塊化平臺可容納多種壓印材料和結構尺寸，從而使客戶在滿足其制造需求時具有更大的靈活性。此外，其制造多次使用的軟郵票的能力有助于延長原版烙印模板的使用壽命。
使用SwissLitho的NanoFrazor制造的3D計算機生成的全息圖的納米壓印圖章的形貌圖像。使用EV Group的HERCULES NIL納米壓印光刻系統(tǒng)，此類印章可用于大量復制3D結構。
